inTEST便携式低温冷水机在真空镀膜工艺中的应用

真空镀膜是以真空技术为基础, 利用物理或化学方法, 为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺.

在现在的真空镀膜中, 有的会加上磁控溅射靶, 用磁控射靶将膜体的蒸发分子在电场的作用下加速轰击靶材, 溅射出大量的靶材原子, 呈中性的靶原子(或分子)沉积在基片上成膜, 解决了过去自然蒸发无法加工的膜体品种, 如镀钛镀锆等等.

磁控溅射靶在发射时, 能量很大一部分转为热量, 若无冷却或冷却不足, 这种热量将使靶源温度达1000℃以上从而溶化整个靶源; 而且产生高温会使射枪变形, 同时, 电流在导体流动时有一个集肤效应, 电荷会聚集在电导有表面积, 这样使电导发热, 因此, 无论是为了保护靶源、射枪、电导或者其他的部件, 冷却是必须的.

上海伯东inTEST Thermonics便携式低温冷水机在真空镀膜工艺中的应用

在真空镀膜中, 冷水机是常用的冷却设备, 其能提供恒温、恒流、恒压的冷却水设备. 其工作原理是先向机内水箱注入一定量的水, 通过制冷系统将水冷却, 再由水泵将低温冷却水送入需冷却的设备, 冷冻水将热量带走后温度升高再回流到水箱, 达到冷却的作用. 冷却水温可根据要求自动调节, 长期使用可节约用水.

在某国内做真空镀膜的工业厂商, 其要求温度控制在0℃～30℃范围, 而且要求温度稳定性控制精度在±0.5℃, 在通过市场上的产品比较之后, 客户最终选择与上海伯东合作, 采用的上海伯东的inTEST Thermonics便携式低温冷水机.

Thermonics便携式低温冷水机是用于低温和超低温过程冷却的高度可靠的过程冷水机系列. 这些冷水机与多种传热流体兼容, 可为汽车, 能源, 化学加工, 工业和半导体等行业的苛刻应用提供高容量的冷却.

冷水机系统配备了触摸屏控制器, 该控制器具有远程通信, 实时图形显示和系统诊断功能, 可监视冷水机的运行状况并防止停机.

内部功能包括热力学, 机械, 电气和软件学科以及现场冷水机制造, 以确保整个冷水机系统都能达到规格要求.

上海伯东的inTEST Thermonics便携式低温冷水机的温度范围为-80℃~50℃, 温度稳定性精度控制在±0.5℃, 制冷量可高达30kW, 完全满足了客户的要求.

上海伯东的inTEST Thermonics便携式低温冷水机能控制真空镀膜机的温度, 以保证镀件的高质量.

上海伯东是美国 Thermonics 超低温冰水机中国总代理.

美国 inTEST 旗下 Thermonics® 提供 -80°C 低温冰水机和 -120°C 超低温冰水机用于冷却工艺过程中的气体和液体. 型号包含低温液体冰水机, 超低温气体冰水机和超低温液氮, 液态二氧化碳制冷机. Thermonics 低温冰水机可选水冷或气冷, 并与各种导热液体兼容. 满足各种超低温工艺冷却需求, 广泛应用于化学, 能源, 半导体, 汽车等领域.

伯东已准备就绪,随时都能帮助您为您的特定用途配置理想的真空解决方案.请随时与我们联系！

联络方式:

上海伯东: 罗先生台湾伯东: 王女士

T: +86-21-5046-3511 ext 108 T: +886-03-567-9508 ext 161

F: +86-21-5046-1490 F: +886-03-567-0049

M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958

tom-luo@hakuto-vacuum.cn ec@hakuto.com.tw

www.hakuto-vacuum.cn www.hakuto-vacuum.com.tw